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随着高科技应用的发展,对真空解决方案的需求也在增长,以防止化学反应和污染。真空应用包括运动控制、检测、切割、光刻等,均面临运动挑战。
ITG真空无铁芯直线电机的动子线圈和定子轨道经过特殊设计,可在低至10^-8 mbar的高真空环境中使用。
耐久性
可靠性
多功能性
排气性
性能参数
Continuous Thrust Passive Cooling*
Continuous Thrust Active Cooling*
电气参数
热性能参数
机械参数
设计图
其他参数